Чистая комната (cleanroom) — критически важное помещение при производстве полупроводников, где концентрация частиц в воздухе строго контролируется. Даже одна частица пыли может повредить или полностью вывести из строя интегральную схему, особенно при современных технологических нормах ниже 10 нм. Поэтому производство микросхем требует строгого соблюдения чистоты на всех этапах обработки. Классы чистоты воздуха определяются по количеству частиц на кубический фут воздуха:  •Класс 100 (ISO 5) — допускается не более 100 частиц размером ≥0,5 мкм на кубический фут воздуха. Применяется в зонах фотолитографии и травления, где критична точность формирования структуры. •Класс 1000 (ISO 6) — допускается до 1000 частиц ≥0,5 мкм. Используется в менее чувствительных зонах, таких как участки упаковки, измерений или химической подготовки. Контейнеры для пластин: •SMIF-поды (Standard Mechanical Interface Pods) — герметичные контейнеры, используемые для транспортировки пластин между оборудованием без контакта с окружающей средой. Применяются в автоматизированных линиях с чистотой класса 1–100. •FOUP (Front Opening Unified Pod) — стандартизованные контейнеры для 300 мм пластин, используемые в современных фабах. Обеспечивают сохранение чистоты (до ISO 1) при полной автоматизации загрузки и выгрузки. •Обычные кассеты — открытые контейнеры, использующиеся в менее автоматизированных производствах и в зонах с чистотой не ниже класса 1000. Требуют строгого контроля среды, так как не защищают пластины от загрязнений.

Таким образом, класс чистоты помещения и тип используемого контейнера всегда подбираются в соответствии с технологическим узлом, требованиями к чувствительности процессов и степенью автоматизации.