⏺ Президент РАН: отечественный литографический сканер на 193 нм может появиться через пару лет
«Мы в прошлом году получили сканер совместно с Белоруссией на длине волны 350 нанометров. Сейчас уже испытывается наш сканер на длине волны 248 нанометров. Идут работы по новому сканеру на длине волны 193 нанометра, который будет предназначен на 90 нанометров и ниже. Кстати, эта длина волны очень перспективная, потому что на ней делаются и пятинанометровые микросхемы. Думаю, сканер [российский литографический сканер на длине волны 193 нанометра] появится года через два».
💬 Источник
@divannyi_it подписаться
