⏺ Ученые Томского политехнического университета (ТПУ) разработали чип для тестирования качества рентгеновского микротомографа
Чип сделан из кристаллического кремния и имеет размеры 2,98 х 2,98 мм, толщину — 0,6 мм. На его поверхности вытравлены на глубину до 20 мкм шаблоны структур из чередующихся полос и точек с поперечными размерами от 10 мкм до 1 мкм. Это трехмерная структура с заданными параметрами, одно из преимуществ которой — возможность определять разрешение без специального ПО.
С помощью разработанного устройства можно измерить разрешение томографа в диапазоне от 15 мкм до 1 мкм. В частности, с помощью чипа можно проверить пространственное разрешение изображения томограммы, минимальный размер детектирования отдельно стоящей точки, точность масштаба изображения, неравномерность разрешающей способности в зависимости от направления измерения в пространстве и другое.
«На данный момент в России промышленные микротомографы с метрологической точки зрения не могут выступать в качестве средства измерения с разрешающей способностью до 1 мкм. Дело в том, что в системе государственных мер не зарегистрировано ни одной меры или тестового объекта, с помощью которого можно доказать, что томограф может отобразить структуры размером до 1 мкм внутри исследуемого объекта – другими словами сейчас доказать, что томограф «разглядел» какие-то детали в образце невозможно. Изготовленный чип как раз и решает задачу измерения пространственного разрешения микротомографа. В России аналогов разработке нет, в мире подобные чипы изготавливаются только в Германии и Японии», — отмечает проректор по науке и стратегическим проектам ТПУ Алексей Гоголев.
💬 Источник
#ТПУ #микротомография #томография #микроэлектроника
💬 Новогодний розыгрыш мерча! | Telegram | VK | Сайт | Милостыня |
В этом посте были ссылки, но мы их удалили по правилам Сетки
