В Новосибирске разрабатывают проект отечественного литографа «Орел-7»
Ученые НГУ представили проект опытного рентгеновского литографа «Орел-7». Установку планируют создать как элемент инфраструктуры СКИФ (Сибирский кольцевой источник фотонов) для изучения физики процессов и отработки параметров. Параллельно аналогичное оборудование предполагается развернуть на синхротроне в Зеленограде для отладки промышленного применения.
Реализация проекта должна позволить преодолеть барьер 28 нм и продвинуться к созданию суверенной технологии производства топовых процессоров.
Рентгеновская литография позволяет формировать сверхминиатюрные структуры благодаря использованию рентгеновского излучения на длинах волн от 1 до 100 ангстрем. Главным ее преимуществом является возможность создания рисунков без необходимости преодоления дифракционного предела, — это позволяет получать более высокое разрешение при сохранении производительности. Кроме того, технология может быть намного дешевле, чем сложные операции EUV-литографии на 13,5 нм, которые позволяют получать структуры с периодом 7 нм за счет экстремального повышения яркости (мощности) излучения и множественных операций со спейсерами, когда вместо одной операции «засветки»-удаления резиста используется до 4 последовательных нанесений резистов и спейсеров в каждом цикле (SAQP).
💬 Подробности в релизе.
#микроэлектроника #СКИФ #Орел7
❤️ Дарим два билета на фестиваль GAMEДНИ
| Розыгрыш для бустеров | | Telegram | VK | Сайт | MAX |
В этом посте были ссылки, но мы их удалили по правилам Сетки
