С толстоплёночной историей всё понятно и, кажется, с тех пор мало что изменилось принципиально, кроме уровня автоматизации. Хотя, резисторы всё так же лазерами подгоняют, кстати. А вот что было-бы действительно интересно посмотреть из тех времен, так это установки для декапсуляции микросхем с последующим послойным препарированием.