Минпромторг выделил более 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин

Разрабатываемая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов

Установка обязана заменить американские и японские аналоги, использующиеся на российском производстве. Тендер на создание опытного образца появился на портале госзакупок. Подрядчик уже определился, однако пока информацию о нем не опубликовали

Жидкостное травление происходит посредством опрыскивания поверхности пластины химическим раствором. Реагенты вступают в реакцию с материалом и равномерно растворяют его по площади пластины и во все стороны

Такие установки необходимы для быстрого удаления толстых слоев, очистки от органических загрязнений и избирательного вытравливания остатков материалов с разной скоростью без создания дополнительных дефектов